高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應用用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領(lǐng)域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運、對象吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具，應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用，具有優(yōu)越的性能價格比。經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的溶蝕粘結(jié)物.揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機械設(shè)備領(lǐng)域。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非常快，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機的工作臺壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個月即會變形，在生產(chǎn)過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更合理，使用壽命更長的工作臺。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)廣泛應用于半導體、磁性材料、電子行業(yè)。

2、工業(yè)高溫窯爐

氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導率低、熱容小、耐機械振動等性能，導熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯，石油化工中的裂解爐、燃燒爐等的隔熱爐襯材料。

氧化鋁陶瓷應用于固體火箭發(fā)動機噴管，使噴管設(shè)計**簡化，部件數(shù)量減少50%，質(zhì)量減輕50%。也可應用于航天飛機的隔熱材料，美國“哥倫比亞”號航天飛機隔熱板襯墊用的是Saffil氧化鋁陶瓷，能經(jīng)受1600 ℃的高溫。

4、陶瓷基復合材料

采用**度、高彈性的氧化鋁陶瓷與陶瓷基體復合技術(shù)，能制備韌性優(yōu)良的陶瓷基復合材料，可明顯提高陶瓷產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，帶動高技術(shù)陶瓷產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。

吸音材料多孔陶瓷具有連通開氣孔，當聲波傳入時，在很小的氣孔內(nèi)受力振蕩。振動受到的摩擦和阻礙，使聲波傳播受到，導致聲音衰減，從而起到吸音的作用。是一種消除噪聲公害，益于人們身心健康的好材料。作為吸音材料的多孔陶瓷要求較小的孔徑(20～150/um)，相當高的氣孔率(>60%)及較高的機械強度。陶瓷所具有的優(yōu)良的耐火性和耐候性，使它可用于變壓器、道路、橋梁等的隔音。現(xiàn)在已在高層建筑、隧道、地鐵等防火要求極高的場合及電視發(fā)射中心、影劇院等有較高隔音要求的場合使用，效果很好。隱身材料多孔陶瓷吸波涂料是一種研制較多的吸波材料，它比鐵氧體、復合金屬粉末等吸波涂料的密度低、吸波性能好，而且還可以有效地減弱紅外輻射信號。另外，多孔陶瓷具有良好的力學性能、熱物理性能和化學穩(wěn)定性，能滿足隱身的要求。的F-117隱身飛機的尾噴管就使用了多孔陶瓷基吸波材料達到飛機隱身的目的。研磨后的表面光滑平整，可替代國外進口材料.

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達1650—1990℃，透射波長為1～6μm，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。

 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在常壓下純ZrO2共有三種晶態(tài)。氧化鋯陶瓷的生產(chǎn)要求制備高純、分散性能好、粒子超細、粒度分布窄的粉體，氧化鋯超細粉末的制備方法很多，氧化鋯的提純主要有氯化和熱分解法、堿金屬氧化分解法、石灰熔融法、等離子弧法、沉淀法、膠體法、水解法、噴霧熱解法等。電子行業(yè)**微孔陶瓷真空吸盤.揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

在濕度大，有粘合液體的環(huán)境下也可以工作。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

一、陶瓷的增韌方法目前，陶瓷的增韌方法主要有：相變增韌、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協(xié)同增韌、納米增韌等。1、相變增韌相變增韌是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應力場的作用下發(fā)生一相變，形成單斜相，產(chǎn)生體積膨脹，從而對裂紋形成壓應力，阻礙裂紋擴展，起到增韌的作用。此外，外界條件（如激光沖擊、疲勞斷裂韌性、低溫、晶粒尺寸和含量、臨界轉(zhuǎn)變能量等）對氧化鋯陶瓷相變增韌有很大的影響，如果相變產(chǎn)生大的應力和體積變化，則產(chǎn)品容易斷裂，因此生產(chǎn)過程中，應避免外界因素對氧化鋯陶瓷相變增韌的影響。揭陽原裝微孔陶瓷真空吸盤上門服務(wù)

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